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특징

  • 태양광 실리콘 웨이퍼의 우수한 세정 성능.
  • 태양광 실리콘 웨이퍼 세정 후 표면 오염 잔사 없음.
  • 태양광 실리콘 웨이퍼 세정 후 공정 영향 없음.
  • 태양광 실리콘 웨이퍼 세정 후 웨이퍼 표면 불량률 감소.

적용

규격

제품 SWC-100 SWC-200
점도 (cps, 25°C) 1 ~ 20 1 ~ 20
비중 (g/㎤) 1.00 ~ 1.20 1.00 ~ 1.20
세정 온도 (℃) 40 ~ 60 40 ~ 60
세정 시간 (min) 10 ~ 20 15 ~ 30
린스 온도 (DI Water, ℃) 5 ~ 30 5 ~ 30
린스 시간 (min) 10 ~ 20 15 ~ 30
세정제 타입 수계 세정제 수계 세정제
대상 솔라 웨이퍼 반도체 웨이퍼
저장온도 (℃) 0 ~ 40 0 ~ 40